Cincoze 工业显示器强化半导体电浆干式去光阻设备信息显示
半导体制程对设备稳定性、制程效率与长时间运作有极高要求。此次应用的终端客户为一家东北亚知名半导体制程设备解决方案供货商,产品涵盖晶圆前段制程设备;其中电浆干式去光阻/光阻剥离是其关键应用之一,且长期具备全球市占领先地位。
电浆干式去光阻设备(Dry Strip Equipment)是半导体前段制程中的关键设备,主要用于移除晶圆在微影与蚀刻制程后的光阻与残留物。为支持稳定制程、高晶圆处理量、低持有成本与长时间运作,设备中的制程监控显示器需持续稳定呈现制程数据与处理结果,协助操作人员实时掌握设备状态,进一步提升产线效率与制程质量。此项目每年预计导入 17 寸上百台 Cincoze 工业显示器(CV-117R / M1101),并将其整合于干式去光阻设备中,作为设备端制程监控显示接口。
产品需求
17 寸 5:4 触控显示需求
客户指定采购 17 寸 5:4 触控显示器,整合至机构空间与操作接口已固定规划的电浆干式去光阻设备中。透过清晰画面与直觉式触控操作,可长时间显示设备状态、制程参数及处理结果,协助操作人员实时掌握制程状况并调整相关参数,提升监控效率并降低判读错误风险。
多元显示讯号输入
这台触控显示器必须支持 HDMI、DisplayPort 等多元显示讯号输入,可接收来自不同设备控制器的画面信息,并清楚呈现设备状态、制程参数及处理结果。同时也可减少额外转接需求,协助客户简化设备整合并提升部署效率。
高可靠性与 EMC 防护
由于电浆干式去光阻设备周边可能存在 RF 电源、马达、控制器等电磁干扰来源,这台整合于半导体设备中的触控显示器必须具备 EMC 防护与良好的抗干扰能力,确保画面显示与触控操作稳定可靠,降低异常停机风险,并提升整体设备可用率。
为何选择德承?
完整的屏幕产品组合,满足不同设备配置需求
Cincoze Display Computing - CRYSTAL 产品线提供完整的工业显示解决方案,涵盖室内型、户外高亮度、Open Frame 工业显示器及工业平板电脑等系列产品。透过近 300 种产品配置,包含 8 至 24 吋屏幕尺寸、4:3 / 5:4 / 16:9 显示比例、单点电阻式与多点电容式触控,以及 Panel Mount、VESA Mount、Rack Mount 等多元安装方式,能依不同应用场景快速选择合适产品,提升设计弹性与设备整合效率。
支持多元接口,简化设备整合难度
Cincoze 工业显示器支持 DisplayPort、HDMI 及 VGA 等多样影像输入接口,可接收控制器的画面讯号,清楚呈现设备状态、制程参数及处理结果。同时具备 USB、COM 等触控讯号接口,可连接主控制器以支持触控操作,减少额外转接需求,协助客户简化导入流程并降低后续维护复杂度。
UL 安全认证与 EN 61000 EMC 防护,符合工业设备环境需求
Cincoze 工业显示器(CV-117R / M1101)采用工业级强固设计,具备铝压铸前框、IP65 前面板防护与宽温运作能力(-20°C 至 70°C),可承受半导体设备长时间运行、机台端清洁维护及周边温度变化等使用需求。同时具备 UL 安全认证并符合工业环境EMC标准(EN 61000-6-2 / 6-4),可确保显示器在电浆干式去光阻设备中维持稳定显示与可靠触控操作。
Q&A
Q1:半导体制程设备中的工业显示器需要符合哪些 EMC 与安全认证?
A:
半导体制程设备使用的工业显示器通常应具备 UL 安全认证,并符合 EN 61000-6-2 与 EN 61000-6-4 工业环境 EMC 标准。UL 安全认证代表产品通过电气安全测试,有助于降低触电、过热及火灾等风险,保障操作与维护人员的人身安全;EMC 标准则确保显示器能够抵抗设备周边的电磁干扰,同时不会对其他设备造成干扰,提升设备长期稳定运行的可靠性。
Q2:为什么电浆干式去光阻设备需要工业触控显示器?
A:
相比一般商用显示器,工业触控显示器更适用于存在 RF 电源、电机及控制器等电磁干扰源的半导体设备环境,可在长时间运行下保持稳定显示与可靠触控,降低异常停机风险,并帮助操作人员实时掌握制程状态、调整相关参数,提升监控效率与设备可用率。
Q3:半导体制程设备使用的工业显示器应具备哪些条件?
A:
半导体制程设备使用的工业显示器,应根据设备空间及软件界面选择合适的屏幕尺寸、显示比例、触控方式及安装方式,并支持 HDMI、DisplayPort 或 VGA 等常见视频输入接口。此外,还应具备 IP 防护、宽温运行、EMC 抗干扰能力及工业安全认证,以确保设备长时间运作时仍能维持稳定显示与可靠触控。